多晶硅副产物四氯化硅的低耗能回收技术研究

摘要

介绍了多晶硅生产过程中的副产物四氯化硅的高效低耗能综合回收利用方法。探讨了四氯化硅的先进回收技术的研究应用进展,包括四氯化硅有机硅转化、白炭黑转变、对四氯化硅的提纯和光导纤维应用,以及热氢法还原为三氯氢硅和电解还原四氯化硅。对各种转化途径的技术关键作了相关的对比分析。重点提出了低压低温电解还原四氯化硅和纳米多晶硅的先进制备技术。