一种光刻胶树脂单体

摘要

本发明公开了一种光刻胶树脂单体，所述树脂单体具有以下结构Ⅰ：该结构中，R1为H、甲基或者三氟甲基；R2为H或者C1～C6的饱和烷烃；R3为C1～C10的氟代烷烃；R4为C1～C8烷烃或者C3～C16环烷烃；X为‑CO‑、‑COO‑或者含有‑O‑的饱和烷烃或者连接键。本发明的树脂单体能够显著降低光酸的扩散，改善光刻图案的线宽粗糙度，大大提高分辨率。