一种新的紫外光刻胶成膜树脂的制备及其性能

摘要

通过两种路线,制备了一种新的聚合物树脂材料聚N-(p-羟基苯基)马来酰亚胺共N-苯基甲基丙烯酰胺(poly-HPMI-co-PMA)。结果表明：该聚合物是1:1交替共聚的,具有良好的溶解性、成膜性和亲水性,并且其玻璃化温度(Tg)达到280℃。将它与感光剂2,1,5-磺酰氯、助剂二苯甲酮等复配成紫外光刻胶,初步的光刻实验表明,该光刻胶分辨率可以达到5μm左右,并且可以耐265℃的高温。