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魏孜博; 马文超; 邱迎昕;
中国石油化工股份有限公司北京化工研究院燕山分院 北京102500;
橡塑新型材料合成国家工程研究中心 北京102500;
光刻胶; 成膜树脂; 曝光; 分辨率; 抗蚀刻性能;
机译:二维动态CA方法用于光刻胶刻蚀模拟的改进及其在SU-8光刻胶深紫外光刻模拟中的应用
机译:使用混合型深紫外光刻胶的双层光刻胶系统的液相甲硅烷基化
机译:瓜尔豆胶,塔拉胶和刺槐豆胶的成膜性能
机译:193 nm深紫外光刻技术实现的低损耗InP膜光子集成电路
机译:研究非晶态三硫化二砷中的银光掺杂机理,以及碲化银-三硫化二砷体系作为无机光刻胶的亚微米光学和深紫外光刻技术的潜力
机译:在脱矿搪瓷上涂上氟化物清漆后传统的光固化树脂基裂缝密封胶和树脂改性的玻璃离聚物密封胶微渗漏
机译:深紫外光刻胶的研究进展
机译:水性成膜泡沫检测方法的研究进展
机译:自熄性树脂胶组合物的研究进展
机译:活化能带硬化模头树脂成分,用于成膜保护和成膜无色胶。
机译:使用深紫外光刻胶进行深亚微米金属化
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