用于氮化硅的蚀刻组成物及使用该蚀刻组成物的蚀刻方法

摘要

揭示一种用于氮化硅的蚀刻组成物及使用该蚀刻组成物的蚀刻方法，所述用于氮化硅的蚀刻组成物包含：磷酸化合物；水；以及硅烷化合物及其反应产物中的至少一者。