一种用于微制造的多层薄膜残余应力和杨氏模量在线测试结构及在线提取方法

摘要

本发明属于微机电技术领域，公开了用于微制造的一种单层薄膜的杨氏模量的在线测试结构、和一种多层薄膜残余应力和杨氏模量的在线测试结构及在线提取方法。单层薄膜的杨氏模量测试结构由一组薄膜材料不同的横拉悬臂梁结构和接触电极组成。横拉悬臂梁结构包括，由单层薄膜作为上电极和驱动电极作为下电极。多层薄膜的杨氏模量和残余应力测试结构包括顶层金属电极，多层两端固支梁结构和底层电极。一组测试结构的多层两端固支梁结构，两端固支梁通过加固锚区和衬底连接。使用静电驱动测量各测试结构的吸合电压。将接触电压和吸合电压送入提取程序计算，即可得各层薄膜的残余应力和杨氏模量。本发明测试方法简单，且能满足工艺线在线测试的精度要求。