位于SOI衬底上的具有沟槽改进的电流路径的高压二极管

摘要

本发明题为“位于SOI衬底上的具有沟槽改进的电流路径的高压二极管”。本发明公开了一种半导体器件，该半导体器件可包括绝缘体上硅(SOI)衬底和形成于SOI衬底上的二极管，该二极管包括阴极区域和阳极区域。该半导体器件可包括至少一个击穿电压沟槽，该至少一个击穿电压沟槽设置在阴极区域的边缘处，并且位于阴极区域与阳极区域之间。