包括具有扩大部分的沟道结构的三维闪存器件

摘要

本发明涉及一种包括具有扩大部分的沟道结构的三维闪存器件。该三维闪存器件包括：下部字线堆叠和上部字线堆叠；单元沟道结构；以及虚设沟道结构，其中单元沟道结构包括：下部单元沟道结构；上部单元沟道结构；以及单元沟道扩大部分，其在下部单元沟道结构和上部单元沟道结构之间并具有比下部单元沟道结构的宽度大的宽度，其中虚设沟道结构包括：下部虚设沟道结构；上部虚设沟道结构；以及在下部虚设沟道结构和上部虚设沟道结构之间的虚设沟道扩大部分，虚设沟道扩大部分具有比下部虚设沟道结构的宽度大的宽度，其中虚设沟道扩大部分的宽度和下部虚设沟道结构的宽度之间的差异大于单元沟道扩大部分的宽度和下部单元沟道结构的宽度之间的差异。