一种倏逝波耦合的波导型探测器

摘要

本发明提供了一种倏逝波耦合的波导型光电探测器，其吸收层的材料选自InAs材料、GaSb材料等五种材料，过渡层的材料选自与吸收层的材料晶格相匹配的多种三元材料和/或四元材料。本申请采用多种过渡层材料代替传统波导中单一材料的方式实现对稀释波导层、光学匹配层以及整个器件折射率更为精细的调控，获得具更高耦合效率的器件结构，最终实现了应用在光纤通信1310nm或1550nm窗口下具有更高量子效率的高速波导型探测器。