一种静电偏转装置及其偏转方法

摘要

本发明公开了一种静电偏转装置及其偏转方法，涉及电子成像装置技术领域，所述静电偏转装置包括：静电偏转极板，所述静电偏转极板包括：第一极板组和第二极板组，所述第一极板组和所述第二极板组其二者向电子束施加相反的作用力。本发明实施例能够解决现有静电偏转装置扫描速度不高，且存在像差和畸变的问题。