基于双胶层结构的脊型波导DFB激光器的制备工艺

摘要

本发明公开了一种基于双胶层结构的脊型波导DFB激光器的制备工艺，其中脊型区域电流通道开窗口包括步骤：通过等离子增强化学气相沉积方式沉积一层SiO2绝缘层；在SiO2绝缘层表面涂覆第一层光刻胶，烘烤第一层光刻胶，使其不能被湿法腐蚀；在第一层光刻胶上涂覆第二层光刻胶；烘烤第二层光刻胶，其烘烤温度和时间均小于第一层光刻胶；利用光刻版在第二层光刻胶上进行曝光显影；采用湿法腐蚀工艺对曝光显影后的第二层光刻胶进行腐蚀；采用RIE干法刻蚀工艺对第一层光刻胶进行刻蚀；采用RIE干法刻蚀工艺对SiO2绝缘层进行刻蚀，去除脊条上的SiO2绝缘层，形成电流通道。本发明可制备出侧面垂直形貌完整的脊型结构。