雾发生装置、成膜装置及使用了成膜装置的成膜方法

摘要

本发明提供能够将雾高效地供给到外部的技术。雾发生装置具备贮存槽、多个超声波换能器、雾送出通道和雾收集管。贮存槽贮存溶液。超声波换能器设置在贮存槽的下部，向在贮存槽内贮存的溶液施加超声波振动，从而在贮存槽内产生溶液的雾。雾送出通道从贮存槽的内部向贮存槽的外部送出雾。雾收集管配置在贮存槽内的溶液的上方，雾收集管的上端部与雾送出通道的上游端连接，在雾收集管的下端部设置有开口部，随着从上端部往开口部，雾收集管的宽度扩大。多个超声波换能器位于开口部的正下方。