薄膜太陽電池セルライン（洗浄装置·レーザースクライブ装置·PE－CVD成膜装置·スパッタ1ノング装置）

摘要

写真1は洗浄装置，写真2はPE－CVD装置（量産型），写真3はR＆Dセンターで開発されたテスト品（2年間寿命テスト），また，R＆Dセンターでは発電効率を実証するためにLED蛍光灯の常時点灯を実施している。Si系薄膜太陽電池セルラインのブロック図を図1に示す。各装置をコンペヤでつなぎ，全自動ラインとするもの，台車で基板を運ぶ，ゾーン運用ラインとするものなど，ユーザーの希望に応えるレイアウトを準備し，R＆Dラインの実証結果で，安心して購入いただける体制を整えている。受注した3ラインを2009年～2010年に設置予定である。