机译:可以将两种模式的磁通量分布(平衡模式/不平衡模式)从一种切换到另一种的磁控溅射装置,以及一种使用该装置由无机成膜材料形成膜的成膜方法,以及一种双模式磁控溅射装置及成膜方法,使用该装置由无机成膜材料在低温下成膜
公开/公告号US2007209927A1
专利类型
公开/公告日2007-09-13
原文格式PDF
申请/专利号US20050631957
申请日2005-07-07
分类号C23C14/32;C23C14;
国家 US
入库时间 2022-08-21 21:06:57