公开/公告号CN111909981A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-11-10
原文格式PDF
申请/专利权人 赛济检验认证中心有限责任公司;
申请/专利号CN202010713297.1
申请日2020-07-23
分类号C12Q1/06(20060101);
代理机构31357 上海梵恒知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人王裕
地址 201203 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区碧波路572弄116号7幢
入库时间 2023-06-19 08:50:28
机译: 氧化物半导体薄膜的评价方法氧化物半导体薄膜的质量控制方法及用于该评价方法的评价要素及评价装置
机译: 氧化物半导体薄膜的评价方法,氧化物半导体薄膜的质量控制方法以及用于该评价方法的评价要素和评价装置
机译: 氧化物半导体薄膜的评价方法,氧化物半导体薄膜的质量控制方法以及上述评价方法中使用的评价装置