公开/公告号CN111763917A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-10-13
原文格式PDF
申请/专利权人 山东华芯半导体有限公司;
申请/专利号CN202010613192.9
申请日2020-06-30
分类号C23C14/35(20060101);C23C14/08(20060101);C23C14/58(20060101);
代理机构37218 济南泉城专利商标事务所;
代理人李桂存
地址 250101 山东省济南市高新区新泺大街1768号齐鲁软件园大厦B座二层
入库时间 2023-06-19 08:31:50
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-09-23
授权
发明专利权授予
机译: 用于铁电记忆的无碳层压氧化铪/氧化锆膜
机译: 用于铁电记忆的无碳层压氧化铪/氧化锆膜
机译: 氧化铪和氧化锆的铁电器件,具有纹理铱底电极