具有高阶旋转对称机械结构和32个电极的硅多模科里奥利振动陀螺仪

摘要

一种角度传感器，包括科里奥利振动陀螺仪(CVG)谐振器，该谐振器能够沿着包括第一法向模态和第二法向模态的第一对法向n＝1模态以及包括第三法向模态和第四法向模态的第二对法向n＝2模态振荡；传感器还包括：一个驱动电极和一个感测电极，它们沿着每个模态的反节点轴线对齐；以及一对偏置调谐电极，如果没有驱动和感测电极对与每个模态的反节点轴线对齐，则该对偏置调谐电极与所述反节点轴线对齐。