基于隧道效应振动梁式陀螺仪自检电极设计

摘要

在微机电系统内建立自检系统是提高系统运行可靠性、安全性的重要手段之一.陀螺仪中的Coriolis力和其他惯性力存在一定的差别,即使在恒定的角速度输入下,Coriolis力也是一种动态变化的力.通过一对平板电极,其中,一个平板电极的边缘按照一定的函数变化,当陀螺仪的悬臂梁振动时,其平板间的静电力的变化能很好地模拟陀螺仪中的Coriolis力,有限元分析结果也表明:应用该方法完全能实现陀螺的自检和测试.