一种将过渡金属硫族化合物与微纳光子器件集成的方法

摘要

本发明涉及一种将过渡金属硫族化合物与微纳光子器件集成的方法，将过渡金属前驱物放置在石英舟内，硅或氮化硅基底的微纳光子器件放置在石英舟上；将硫族元素前驱物置于管式炉石英管内。通过利用化学气相沉积法在微纳光子器件上直接生长过渡金属硫族化合物，可将过渡金属硫族化合物与微纳光子器件集成，且材料层数可控，光学和电学特性良好。该方法极大地优化了工艺流程，节省了工艺成本，适合于规模化生产集成有过渡金属硫族化合物的微纳光子器件。