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一种晶圆流片生产用光刻辅助装置

摘要

本发明涉及晶圆流片生产附属装置的技术领域,特别是涉及一种晶圆流片生产用光刻辅助装置,其可增强晶圆流片在支撑架上的稳固性,避免其在焊接过程中移位,提高焊接效果;同时能根据工作人员需求对其焊接时与晶圆流片间距离进行调整,提高适应能力,降低使用局限性;且增强焊接过程中对工作人员的保护效果,提高使用可靠性;包括工作台、底座、焊枪和支撑架,焊枪放置在工作台顶端右侧;还包括四组支撑件,支撑件包括第一螺纹管、第一螺纹杆、第一滚珠轴承和支撑板,第一螺纹杆顶端与支撑板底端连接;还包括四组固定件;还包括两组调节件、两组连接件和透明防护板,支撑架位于两组调节件之间,透明防护板左右两端分别与两组连接件连接。

著录项

  • 公开/公告号CN108962801A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-12-07

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 江苏英锐半导体有限公司;

    申请/专利号CN201811060230.1

  • 发明设计人 王昌华;

    申请日2018-09-12

  • 分类号

  • 代理机构常州市权航专利代理有限公司;

  • 代理人袁兴隆

  • 地址 224002 江苏省盐城市经济技术开发区综合保税区纽约中路1号3号标准厂房

  • 入库时间 2023-06-19 07:35:41

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-01-01

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 申请日:20180912

    实质审查的生效

  • 2018-12-07

    公开

    公开

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