清洗基板的背面的装置和方法、背面清洗装置和基板处理装置

摘要

本发明提供一种清洗基板的背面的装置和方法，能够以较高的去除率从背面去除研磨屑等微粒。用于清洗基板(W)的背面的装置具备：在使基板(W)的背面朝上的状态下，一边保持基板(W)一边使基板(W)旋转的基板保持部(105)；构成为能够旋转的擦洗器具(108)；配置于基板保持部(105)的上方的双流体喷嘴(109)；以及形成供基板保持部(105)、擦洗器具(108)、以及双流体喷嘴(109)配置的清洗室(99)的外壳(100)。