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高晓萍;
无;
间歇式; 玻璃基板处理装置; 浸渍; 小型化; 组件处理;
机译:静电卡盘及包括该基板的基板处理装置的专利发行
机译:基板处理系统及基板处理装置的专利授权
机译:东大开发以低成本在廉价的玻璃基板上制造LED的技术在玻璃基板上实现RGB全彩LED并取代蓝宝石基板
机译:非接触式处理装置的平板基板的惯例使用超声波振动(垂直) - 基于基于基板的顶表面的玻璃基板开口空间
机译:通过轧制溅射沉积工艺沉积在柔性玻璃基板上的氧化铟锌,氧化铟锡和钼薄膜的表征
机译:使用不完善的玻璃压印与纳米针阵列玻璃碳印章在玻璃基板上制备正弦交叉抗反射纳米结构。
机译:通过Sill方法沉积在玻璃和Gase单晶基板上沉积在玻璃和Gase单晶基板上的溶酶体和光学性质
机译:玻璃间歇式预热器中NOx和sO2排放的验证试验。最终报告,1988年10月1日至1989年4月31日
机译:玻璃基板处理装置,玻璃基板处理方法以及基板处理装置
机译:间歇式垂直基板处理装置及基板保持器
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