法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-05-26
授权
授权
2018-12-07
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B7/00 申请日:20180531
实质审查的生效
2018-11-13
公开
公开
技术领域
本发明涉及半导体激光器领域,尤其涉及一种矩形平面镜夹具结构及夹持平面镜的方法,用于半导体激光器光束光路方向改变或者光束合束等工艺之中。
背景技术
为了方便半导体激光器结构的制作过程中,改变光束传播的方向,可以减小半导体激光器器件的体积;对不同波长的光束进行波长合束工艺,对不同偏振态的光束进行偏振合束工艺,可以增加半导体激光器器件的出光功率。可见在半导体激光器结构的制作过程中会使用到诸多呈规则矩形的平面镜,包含反射镜或者平面合束镜等。因此,在半导体激光器器件的制作过程中,可以稳定、精确的夹持平面镜,且方便配合调整价对平面镜进行调节的夹具结构是非常必要的。在考虑此结构的方便性的同时,结构的成本也是非常有必要的,而采用设计简单化更有利于减少结构成本,因此多功能平面镜夹持结构应运而生。
发明内容
本发明的目的在于提供一种矩形平面镜夹具结构及夹持平面镜的方法,在半导体激光器进行光纤耦合封装等工艺时,其可对半导体激光器的光束进行光路的转变、光束合束等工艺,提高亮度,减小器件体积,在半导体激光器器件的制备工艺过程中起到夹持平面镜的作用。本发明具有制备方式简单,成本低,且使用寿命长,可以做到精确、稳定的夹持平面镜。本发明在使用过程中通过一根螺钉使夹具产生形变来夹持矩形平面镜,这种方式操作简单,使用方便,使半导体激光器器件的制备过程中的光路转变以及光束合束等过程变得简便易行。
本发明提供一种矩形平面镜夹具结构,包括:
一固定臂、一连接臂和一夹持臂,
所述固定臂的一端头部开有一第一凹型通槽;所述连接臂一端开有十字凹型通槽,该连接臂未开有十字凹型通槽的另一端与固定臂的第一凹型通槽螺接;所述夹持臂一端为一凸榫,另一端与凸榫同方向为一夹持端,所述夹持臂的凸榫端与连接臂的十字凹型通槽插接后螺接。
本发明还提供一种矩形平面镜夹具结构夹持平面镜的方法,包括:
步骤1:将夹持臂与连接臂相连,再将连接臂固定在固定臂上,形成T型的夹具结构;
步骤2:将一平面镜夹持在夹持槽口内,使光可以通过通光槽口;
步骤3:通过调整螺钉,使夹持臂狭槽两侧的弹性支臂之间的间隙变化;
步骤4:调整光路,完成矩形平面镜夹具结构夹持平面镜的方法。
本发明提供的矩形平面镜夹具结构操作简单,选用的材料为不锈钢和铝合金,利用材料自身的弹性形变进行操作,方便操作。
本发明提供的矩形平面镜夹持结构,采用一个螺钉调节夹具的间隙,不损伤矩形平面镜,不遮挡光路,结合调整架可有效地提高工艺效率和可靠性。
本发明提供的矩形平面镜夹具结构夹持槽口,结合较厚的第一夹持支臂,可以稳定的固定平面镜,使其保持在与第一夹持支臂平行的位置。
本发明提供的矩形平面镜夹具结构的精度高,能够满足半导体激光器的光路转变及光束合束等工艺的要求。
附图说明
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白,以下结合具体实施例,并参照附图,对本发明作进一步的详细如后,其中:
图1为本发明的固定臂示意图;
图2为本发明的连接臂示意图;
图3为本发明的夹持臂示意图;
图4为本发明整体结构示意图;
图5为本发明连接臂与夹持臂连接方法一;
图6为本发明连接臂与夹持臂连接方法二;
图7为本发明实施例的矩形平面镜夹具结构的使用流程。
具体实施方式
本发明实施例提供一种矩形平面镜夹具结构,该矩形平面镜夹具结构是一种用于半导体激光器结构制备工艺中光路转变及光束合束等工艺,包括固定臂10、连接臂20和夹持臂30。
请参阅图1-图6所示。本发明提供一种矩形平面镜夹具结构,包括:
一固定臂10、一连接臂20和一夹持臂30,
所述固定臂10的一端头部开有一第一凹型通槽12,所述与固定臂10的端部的第一凹型通槽12垂直的一面上开有一条形第一通孔11,该第一凹型通槽12的中心为一螺孔;所述连接臂20一端开有十字凹型通槽22,该连接臂20未开有十字凹型通槽22的另一端与固定臂10的第一凹型通槽12螺接,连接臂20的一面上开有一条形第二通孔21;所述夹持臂30一端为一凸榫31,另一端与凸榫31同方向为一夹持端34,所述夹持臂30的凸榫31端与连接臂20的十字凹型通槽22插接后螺接,所述夹持臂30凸榫31的一面有一通孔,沿夹持臂30的夹持端34纵向开有一狭槽32,该狭槽32的上下两侧为弹性支臂,该夹持端34的端部与狭槽32垂直方向开有一通光槽口33,在夹持端34的狭槽32端部开有一夹持槽口35。
其中固定臂10与连接臂20连接和连接臂20与夹持臂30连接,均为螺接。
其中夹持臂30及连接臂20的材料为铝合金,固定臂10的材料为不锈钢。
图1为本发明的固定臂示意图,参照图1所示。固定臂10为长方体结构,其材料为不锈钢。该固定臂10可通过条形第一通孔11与六维调整架等器材螺接。
图2为本发明的连接臂示意图,参照图2所示。连接臂20为长方体结构,其材料为铝合金。该连接臂20的一端开有条形第二通孔21,用于连接臂20与固定臂10的螺接,形成“T”型结构,沿条形第二通孔21方向可方便的调节连接臂20与固定臂10的相对位置。
图3为本发明的夹持臂示意图,参照图3所示。夹持臂30为长方体结构,其材料为铝合金。在实际使用中,将夹持臂30与连接臂20连接,可形成“一”字型结构。夹持臂30可以在相互垂直的两个方向与连接臂连接,故此夹具结构可调节相互垂直的两个方向的光束,使工艺操作更加简单有效。夹持臂30狭槽32两侧的弹性支臂相对设置,长度相同但厚度不同。因此两个弹性支臂具有不同的力学性能,以便于通过螺钉使持臂30狭槽32一侧的较薄弹性支臂发生形变,改变狭槽32之间的间隙,从而起到夹紧或者松开平面镜的作用。
狭槽32两侧的弹性支臂延伸至夹持端34的两个夹持支臂,夹持端34的两个夹持支臂也相对设置,长度相同但厚度不同,故两个夹持支臂也具有不同的力学性能。当夹持端34一端的螺钉旋紧时,较薄的夹持支臂易发生弹性形变,从而可夹紧平面镜。夹持端34一端开有垂直于狭槽32所在方向的槽口,用于光路的通过。且夹持端34一端开有夹持槽口35,用来控制平面镜在夹持端34的夹持深度,同时也起到固定平面镜的作用。
图4为本发明整体结构示意图,参照图4所示。图5为本发明连接臂与夹持臂连接方法一,参照图5所示。图6为本发明连接臂与夹持臂连接方法二,参照图6所示。首先,根据实际需要选择夹持臂30与连接臂20的连接方式,以图5或图6的方式,将连接臂30的凸榫31插入连接臂20的十字凹型通槽22中,并用螺钉固定。再将连接臂20和夹持臂30的组合结构与固定臂10相连,连接方式为将连接臂20的条形第二通孔21和固定臂10的第一凹型通槽12螺接。
以本发明提供的矩形平面镜夹具结构,结合六维调整架进行光路调整工艺的应用为例。将图4所示的结构通过固定臂10的条形第一通孔11与六维调整架螺接,并在夹持臂30的夹持槽口35处夹紧的矩形平面镜,并放到半导体激光器的光路中,即可进行光路调整工艺。
在光路调整工艺完成后,反方向旋转夹持端34一端的螺钉,使狭槽32两侧的弹性支臂以及夹持端34的夹持支臂均形变变小直到恢复原样,即可松开平面镜。
以上结构的形状和材料仅为本发明的具体实施例,并不限于此。在本发明其他实施例中,如连接臂20与夹持臂30合二为一的一体成型的结构,或者将固定臂10、连接臂20及夹持臂30中三部分一体成型的结构,均属于本发明的内容之内。
图7为本发明实施例的矩形平面镜夹具结构的使用流程。请参阅图7,并结合参阅图1-图6,本发明提供一种矩形平面镜夹具结构夹持平面镜的方法,包括:
步骤1:将夹持臂30与连接臂20相连,再将连接臂20固定在固定臂10上,形成T型的夹具结构,所述夹持臂30与连接臂20相连的方向为平面镜的纵向或横向;
步骤2:将一平面镜夹持在夹持槽口35内,使光可以通过通光槽口33;
步骤3:通过调整螺钉,使夹持臂30狭槽32两侧的弹性支臂之间的间隙变化;
步骤4:调整光路,完成矩形平面镜夹具结构夹持平面镜的方法。
本发明实施例提供的矩形平面镜夹具结构选用的材料为不锈钢和铝合金,可利用材料自身的弹性形变进行操作,方便简单;采用一个螺钉调节夹具的间隙,不损伤矩形平面镜,不遮挡光路,有效地提高工艺效率和可靠性,方便快捷,易于调整,有利于高效的进行半导体激光器光路转变及合束等工艺,提高工艺精度。
还需要说明的是,实施例中提到的方向用语,例如“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等,仅是参考附图的方向,并非用来限制本发明的保护范围。贯穿附图,相同的元素由相同或相近的附图标记来表示。在可能导致对本发明的理解造成混淆时,将省略常规结构或构造。
并且图中各部件的形状和尺寸不反映真实大小和比例,而仅示意本发明实施例的内容。另外,在权利要求中,不应将位于括号之间的任何参考符号构造成对权利要求的限制。
再者,单词“包含”不排除存在未列在权利要求中的元件或步骤。位于元件之前的单词“一”或“一个”不排除存在多个这样的元件。
此外,除非特别描述或必须依序发生的步骤,上述步骤的顺序并无限制于以上所列,且可根据所需设计而变化或重新安排。并且上述实施例可基于设计及可靠度的考虑,彼此混合搭配使用或与其他实施例混合搭配使用,即不同实施例中的技术特征可以自由组合形成更多的实施例。
类似地,应当理解,为了精简本发明并帮助理解各个发明方面中的一个或多个,在上面对本发明的示例性实施例的描述中,本发明的各个特征有时被一起分组到单个实施例、图、或者对其的描述中。然而,并不应将该发明的方法解释成反映如下意图:即所要求保护的本发明要求比在每个权利要求中所明确记载的特征更多的特征。更确切地说,如下面的权利要求书所反映的那样,发明方面在于少于前面发明的单个实施例的所有特征。因此,遵循具体实施方式的权利要求书由此明确地并入该具体实施方式,其中每个权利要求本身都作为本发明的单独实施例。
以上所述的具体实施例,对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明,应理解的是,以上所述仅为本发明的具体实施例而已,并不用于限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内,所做的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
机译: 用于投影曝光系统的小平面镜的制造方法,涉及通过机器人将小平面镜元件布置在小平面镜基座上,其中每个小平面镜元件均具有唯一的识别码。
机译: 用于IFF询问器的折反射式斯塔克效应激光调制器-使用角锥反射器和两组正交平面镜构成矩形截面波导
机译: 用于IFF询问器的折反射式斯塔克效应激光调制器-使用角锥反射器和两组正交平面镜构成矩形截面波导