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矩形平面镜夹具结构及夹持平面镜的方法

摘要

一种矩形平面镜夹具结构,包括:一固定臂、一连接臂和一夹持臂,所述固定臂的一端头部开有一第一凹型通槽;所述连接臂一端开有十字凹型通槽,该连接臂未开有十字凹型通槽的另一端与固定臂的第一凹型通槽螺接;所述夹持臂一端为一凸榫,另一端与凸榫同方向为一夹持端,所述夹持臂的凸榫端与连接臂的十字凹型通槽插接后螺接。本发明具有制备方式简单,成本低,且使用寿命长,可以做到精确、稳定的夹持平面镜。

著录项

  • 公开/公告号CN108802951B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-05-26

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;

    申请/专利号CN201810546272.X

  • 申请日2018-05-31

  • 分类号

  • 代理机构中科专利商标代理有限责任公司;

  • 代理人汤宝平

  • 地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号

  • 入库时间 2022-08-23 10:59:44

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-05-26

    授权

    授权

  • 2018-12-07

    实质审查的生效 IPC(主分类):G02B7/00 申请日:20180531

    实质审查的生效

  • 2018-11-13

    公开

    公开

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