法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-05-26
授权
授权
2018-12-07
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B7/00 申请日:20180531
实质审查的生效
2018-11-13
公开
公开
机译: 用于投影曝光系统的小平面镜的制造方法,涉及通过机器人将小平面镜元件布置在小平面镜基座上,其中每个小平面镜元件均具有唯一的识别码。
机译: 用于IFF询问器的折反射式斯塔克效应激光调制器-使用角锥反射器和两组正交平面镜构成矩形截面波导
机译: 用于IFF询问器的折反射式斯塔克效应激光调制器-使用角锥反射器和两组正交平面镜构成矩形截面波导