法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-04-28
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/822 申请日:20180404
实质审查的生效
2018-10-23
公开
公开
机译: 有机半导体薄膜的形成方法,使用有机半导体薄膜的形成方法的有机半导体装置,以及使用有机半导体薄膜的形成方法的有机半导体装置的制造方法
机译: 有机半导体薄膜的形成方法,使用有机半导体薄膜的形成方法的有机半导体装置,以及使用有机半导体薄膜的形成方法的有机半导体装置的制造方法
机译: 半导体装置的制造方法,半导体装置及电子电路装置的制造方法以及电子电路装置