半導体材料·デバイスの最新の進展1．酸化物半導体の物性とデバイス応用

摘要

酸化物と人類の最初の関り合いは，酸化物を「取り除く」事か始まったが，磁器やガラスの発明を経て徐々にその物性が着目され，現代では必要不可欠なものとなっている．また半導体応用を見据えた場合に，新しい酸化物としてコランダム構造酸化物が注目されており，まだ未解明な部分が多い，その物性から半導体デバイス応用までを詳述した．今後は，いよいよ「酸化物単結晶」によるデバイスの実現が次なる目標となる事が予想され，今後その実用化と展開が大いに期待される．