一种快速批量精确测试MOS器件热载流子注入效应的电路

摘要

本发明公开了一种快速精准MOS器件热载流子测试结构，包括两个相同的相邻器件(6)，通过电流差分放大器，滤除温度影响，包括使用多组一样的器件取均值，降低工艺不均匀性带来的影响，包括使用多级缓冲器连接焊盘与栅极，增加驱动能力，可以使用交流应力进行测试，包括使用译码器对不同测试模块进行片选，复用不同模块的焊盘。