多晶硅纳米线矩形阵列和超晶格光电结构微型能量收集器

摘要

本发明的基于多晶硅纳米线矩形阵列和超晶格光电结构的微型能量收集器，由光电池和热电能量收集器构成。光电池采用超晶格结构，热电能量收集器由纳米线矩形单元矩形阵列而成，纳米线矩形单元采用深紫外光刻工艺得到纳米热电偶，与传统的热电光电能量收集器相比具有体积小的特点，同时具有较高的热电光电转化效率，纳米热电偶对之间、纳米线矩形单元之间通过金线连线进行电器互联，光电池和热电能量收集器收集的能量通过热电输出pad和光电输出pad进行输出。所收集的能量最终存储在充电电池中，充电电池中的电能可以实现给无线传感节点的供电。