晶片抛光腔室和包括晶片抛光腔室的晶片抛光系统

摘要

实施例的一个方面提供了一种晶片抛光腔室，其包括晶片传输部分；抛光部分，设置有上表面板和下表面板，并且被配置成抛光从晶片传输部分传输的晶片；分隔壁，被配置成将设置有传输部分和抛光部分的位置分隔开；多个风扇单元，被配置为引入空气；以及多个排气单元，被配置成排出空气，其中风扇单元可以被设置在抛光部分的上部中的至少一个中。