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用于晶圆可接受性测试的焊盘及其制造方法

摘要

本公开涉及用于晶圆可接受性测试的焊盘及其制造方法。一种用于晶圆可接受性测试的焊盘,包括:半导体基底,具有至少一个二极管;以及位于所述半导体基底上方的至少一个金属层,用于连接到所述半导体基底中的器件。其中,所述至少一个二极管串联连接到所述至少一个金属层中最接近所述半导体基底的金属层。

著录项

  • 公开/公告号CN108281365A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-07-13

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 德淮半导体有限公司;

    申请/专利号CN201810065931.8

  • 发明设计人 汤茂亮;柯天麒;姜鹏;

    申请日2018-01-24

  • 分类号H01L21/66(20060101);

  • 代理机构11038 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;

  • 代理人马景辉

  • 地址 223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

  • 入库时间 2023-06-19 05:55:12

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-08-07

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/66 申请日:20180124

    实质审查的生效

  • 2018-07-13

    公开

    公开

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