一种精确定位转移的多自由度机械手及其搬运料盘的方法

摘要

本发明属于柔性电子生产相关设备领域，并公开了一种面向轻薄圆柱体料盘精确定位转移的多自由度机械手，包括第一手掌模块、第二手掌模块、α转动模块、XZ两轴平移模块和气路分配单元，第一手掌模块包括盖板、侧板、定位台和真空气管接头装置；α转动模块包括α转动连接座和连接轴；所述α转动连接座上安装所述XZ两轴平移模块，所述XZ两轴平移模块上安装所述第二手掌模块；气路分配单元安装在所述α转动连接座上并与真空气路连接，以用于实现对所述第一手掌模块内部气流通道和气道的开关控制。本发明能够以结构紧凑、便于操控的方式实现对料盘的精确定位，可以获得更大范围的上下侧手掌空间姿态调整，进而提高拾放操作的效率。