公开/公告号CN107978510A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-05-01
原文格式PDF
申请/专利权人 朗姆研究公司;
申请/专利号CN201710990980.8
申请日2017-10-23
分类号
代理机构上海胜康律师事务所;
代理人樊英如
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-06-19 05:12:00
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-11-19
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/02 申请日:20171023
实质审查的生效
2018-05-01
公开
公开
机译: 通过还原和去除金属氧化物形成低电阻率金属接触和互连的系统和方法
机译: 通过还原和去除金属氧化物形成低电阻率金属接触和互连的系统和方法
机译: 通过减少和去除金属氧化物来形成低电阻率金属触点和互连的系统和方法