掩模组件、包括掩模组件的沉积装置及掩模组件制造方法

摘要

本申请提供了掩模组件、包括掩模组件的沉积装置及掩模组件的制造方法。掩模组件包括掩模框架、掩模和磁性部分，其中：掩模由掩模框架支撑，掩模包括多个图案孔；磁性部分设置在掩模的一个表面上。磁性部分提供掩模与目标基板之间的磁力，并且增加掩模与目标基板之间的附着力以防止沉积缺陷。