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严伟; 胡松; 唐小萍; 赵立新; 杨勇; 蒋文波; 周绍林; 陈旺富;
中国科学院光电技术研究所 成都610209;
中国科学院研究生院 北京100039;
数字微镜阵列; 无掩模光刻; 照明;
机译:基于数字微镜装置的扫描掩模光刻系统的高速曝光方法
机译:通过数字投影法的无掩模曝光装置
机译:基于数字微镜器件(DMD)和双面微透镜和空间滤波器阵列的无掩模光刻
机译:改进遗传算法在步进式DMD数字掩模光刻路径规划中的应用
机译:单曝光和双曝光光学微光刻的掩模设计:逆成像方法
机译:制造用于生物学分析的无掩模微流体装置的简单方法
机译:基于DMD的无掩模灰度光刻系统的3D光刻工艺优化方法
机译:无掩模光刻的方法和装置。
机译:无掩模曝光装置,无掩模曝光方法以及由该无掩模曝光装置和无掩模曝光方法制造的显示基板
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