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金红石型铌氧氮化物及其制造方法、以及半导体结构体

摘要

本发明提供一种具有金红石型晶体结构、由化学式NbON表示的金红石型铌氧氮化物。并且,本发明还提供一种半导体结构体(100),其包含:至少一个主面由具有金红石型晶体结构的金红石型化合物形成的基板(110)、和在基板(110)的所述一个主面上生长的具有金红石型晶体结构、由化学式NbON表示的铌氧氮化物(例如金红石型铌氧氮化物膜(120))。

著录项

  • 公开/公告号CN107848834A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-03-27

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 松下电器产业株式会社;

    申请/专利号CN201680042055.6

  • 申请日2016-07-21

  • 分类号

  • 代理机构中科专利商标代理有限责任公司;

  • 代理人葛凡

  • 地址 日本大阪府

  • 入库时间 2023-06-19 04:53:57

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-07-17

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C01G33/00 申请公布日:20180327 申请日:20160721

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2018-08-03

    实质审查的生效 IPC(主分类):C01G33/00 申请日:20160721

    实质审查的生效

  • 2018-03-27

    公开

    公开

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