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锐钛矿型铌氧氮化物及其制造方法、以及半导体结构体

摘要

本发明提供一种具有锐钛矿型晶体结构、由化学式NbON表示的锐钛矿型铌氧氮化物。并且,本发明还提供一种半导体结构体(100),其包含:至少一个主面由具有钙钛矿型晶体结构的钙钛矿型化合物形成的基板(110)、和在基板(110)的所述一个主面上生长的具有锐钛矿型晶体结构、由化学式NbON表示的铌氧氮化物(例如锐钛矿型铌氧氮化物膜(120))。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-04-17

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C01G33/00 申请公布日:20180327 申请日:20160721

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2018-08-03

    实质审查的生效 IPC(主分类):C01G33/00 申请日:20160721

    实质审查的生效

  • 2018-03-27

    公开

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