公开/公告号CN107680922A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-02-09
原文格式PDF
申请/专利权人 德淮半导体有限公司;
申请/专利号CN201710941722.0
申请日2017-10-11
分类号H01L21/67(20060101);H01L21/66(20060101);
代理机构上海光华专利事务所(普通合伙);
代理人余明伟
地址 223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号
入库时间 2023-06-19 04:33:06
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-03-09
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 申请日:20171011
实质审查的生效
2018-02-09
公开
公开
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