一种掺铁磷化铟单晶片的退火方法

摘要

本发明公开了一种掺铁磷化铟单晶片的退火方法，包括以下步骤：S1选用掺铁磷化铟单晶片；S2将所述掺铁磷化铟单晶片以及红磷间隔放入石英管中；S3将所述石英管抽真空并封闭；S4将封闭的石英管放入退火炉中退火。本发明通过对掺铁磷化铟单晶片进行退火处理，有效去除磷化铟单晶材料中的杂质聚集，降低复合体缺陷，克服掺铁磷化铟晶体材料掺铁浓度高、均匀性和稳定性差等缺点，有效提高铁的激活效率，提高材料电阻率，从而提高掺铁磷化铟单晶材料的半绝缘性和稳定性。