制造EUV模块的方法、EUV模块和EUV光刻系统

摘要

本发明关于一种涂布意图用于EUV光刻系统(500)的陶瓷材料(100)的EUV子模块(120、130)的表面(101)的方法。首先，金属焊料(114)在陶瓷基板(100)的表面(101)的整个表面区域之上施加于所述表面。然后，执行热处理以在陶瓷材料(100)与金属焊料(114)之间制造材料键结(116)。此外，本发明还关于一种制造EUV模块(200)的方法。为此目的，通过上述方法分别涂布其整个表面区域之上的至少两个EUV子模块(120、130)通过焊接或粘合键结而接合。再者，本发明关于一种EUV子模块(120、130)、一种EUV模块(200)以及一种EUV光刻系统。