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正型感光性树脂组合物、图案固化膜的制造方法、图案固化膜和电子部件

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摘要

一种正型感光性树脂组合物，其包含(a)聚苯并唑前体、(b)交联剂、(c)重氮萘醌化合物、(d)碘化合物以及(e)溶剂。

著录项

公开/公告号CN107430334A

专利类型发明专利
公开/公告日2017-12-01

原文格式PDF
申请/专利权人日立化成杜邦微系统股份有限公司;
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申请/专利号CN201680017372.2
发明设计人松川大作;榎本哲也;
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申请日2016-01-22
分类号G03F7/004(20060101);G03F7/023(20060101);
代理机构11243 北京银龙知识产权代理有限公司;
代理人钟晶;陈彦
地址日本东京都
入库时间 2023-06-19 03:56:57

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2017-12-26

实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/004 申请日:20160122

实质审查的生效
2017-12-01

公开

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