基于静电刚度调制机理的微型谐振式电荷传感器及其方法

摘要

本发明公开了一种基于静电刚度调制机理的微型谐振式电荷传感器及其方法。传感器中设有电荷输入极板、驱动叉指电极、感应叉指电极、振动音叉、锚端和绝缘基底；振动音叉的端点分别与锚端连接；驱动叉指电极的叉指端与振动音叉上的驱动叉指耦合；感应叉指电极的叉指端与振动音叉上的感应叉指耦合；振动音叉上设有极板并与电荷输入极板耦合；锚端、电荷输入极板、驱动叉指电极和感应叉指电极分别固定于绝缘基底上；本发明基于谐振梁的静电刚度调制机理，具有高电荷检测的灵敏度；通过电荷感应电容的敏感机制增加了谐振的能量传输通道，提高谐振的品质因数和频率稳定性；并且具有器件结构简单，低尺寸功耗成本等优势。