机译:基于微谐振器的静电电荷传感器,具有有效刚度扰动的感测方案
Zhejiang Univ State Key Lab Fluid Power &
Mechatron Syst Hangzhou 310027 Zhejiang Peoples R China;
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charge sensor; MEMS; resonator; electrostatic;
机译:基于微谐振器的静电电荷传感器,具有有效刚度扰动的感测方案
机译:基于带有双微杠杆的微机械谐振器的静电电荷传感器
机译:基于微机械谐振器的静电电荷和场传感器
机译:基于微谐振器的静电载荷传感器,具有有效的刚度摄动方案
机译:静电执行器的设计,用于调整微机电系统的有效刚度。
机译:基于静电梳状驱动和压阻感测侧向谐振器的谐振压力传感器
机译:基于差分传感方案和杠杆机制的微谐振电荷传感器,具有增强的灵敏度