一种基于差分演化算法的静电刚度谐振式加速度计设计方法

摘要

本发明提出了一种基于差分演化算法的静电刚度谐振式加速度计设计方法，实现步骤为：定义目标函数及差分演化算法相关参数；编码与差分演化算法种群初始化；对初始化种群进行差分变异操作、交叉操作、选择操作；满足终止条件得到确定性最优解；确定性最优解进行健壮性优化输出健壮性最优解。本发明兼顾微机电系统加速度计的其他性能指标，在加速度计关键参数取值范围内寻求标度因数最优解，在设计静电刚度谐振式加速度计结构的过程中，采用差分演化算法框架对其结构尺寸进行优化设计。在选择操作之前对超出约束范围的解设计了惩罚函数并对确定性最优解进行了健壮性优化，设计出具有标度因数健壮性的静电刚度谐振式加速度计结构。