一种基于快速退火金属薄膜自组装纳米粒子的方法

摘要

本发明公开了一种基于快速退火金属薄膜自组装金属纳米粒子的方法，其特征在于步骤如下：首先，在衬底材料上沉积一层金属薄膜，形成镀有金属薄膜的基片；然后将基片置于快速退火炉中，加载退火程序进行退火处理，通过对起始温度、升温速率、驻温时间和在退火处理中保护气体的流量控制进行快速热退火，得到制备了一层金属纳米粒子的基片。该方法采用在基片上生长纳米颗粒，其成本低、简单易行，能够得到分散均匀、粒径一致、形貌可控的纳米颗粒。