薄材厚度传感器和使用中红外干涉测量法的方法

摘要

独立的薄片(诸如多孔聚合物和纸)的非接触薄材厚度测量检测由来自薄片的上表面和下表面的光反射所创建的中红外干涉条纹。该技术包括以选定的入射角度将激光束引导到在暴露外表面的单个点上(其中激光束包括具有在3‑50微米范围内波长的辐射)和在将激光束引导到暴露外表面上时扫描通过选定角度范围的激光束以及测量由从暴露外表面和从内表面反射的辐射叠加形成的干涉图案的强度。可以从干涉图案中的条纹间隔提取厚度。旋转和聚焦元件确保在改变入射角度时在薄片上的点位置保持不变。