迈克耳孙干涉仪测薄透明体厚度和折射率

摘要

提出用迈克耳孙干涉仪同时测量薄透明体厚度和折射率的新方法.根据本方法,当插入迈克耳孙干涉仪光路中的被测透明体与光路呈不同夹角时,对应光程变化可通过等倾干涉圆环的变化定量测量.推导出圆环数、薄透明体与光路夹角、厚度、折射率关系,据此可测得薄透明体厚度和折射率.使用此方法,光学系统只需在测量前校准,测量中不再变动,可进一步降低系统误差.