公开/公告号DE69200459D1
专利类型
公开/公告日1994-11-03
原文格式PDF
申请/专利号DE19926000459T
发明设计人 OHTA YUTAKA ANNAKA-SHI GUNMA-KEN JP;NAKANO MASTAKE ANNAKA-SHI FUNMA-KEN JP;KATAYAMA MASATAKE TAKASAKI-SHI GUNMA-KEN JP;ABE TAKAO ANNAKA-SHI GUNMA-KEN JP;
申请日1992-04-23
分类号H01L21/321;H01L21/306;H01L21/76;G01B11/06;
国家 DE
入库时间 2022-08-22 04:34:44