折射率和厚度的干涉测量法

摘要

采用干涉法对平面平行样件的绝对折射率和厚度进行同步测量的装置已经问市。此方法使我们能对固态（包括光学玻璃、晶体、塑料及其他片状材料），液态和气态媒质进行了广谱域检测。已经制造出实现干涉测量法的实验装置，激光干涉折射率仪以及测厚仪（IRT），本文对这些装置进行了探讨。折射率测量的IRT精度并不低于当代最先进的测角仪的精度，厚度测量精度相当于干涉精度。