用于纹理化腔室部件的方法和具有纹理化表面的腔室部件

摘要

提供一种用于腔室部件上的纹理化表面的方法，并且所述方法包括：提供腔室部件；将光刻胶层施加至所述腔室部件的表面；使用掩模来将所述光刻胶的一部分暴露于光能，以便固化所述光刻胶的一部分；将未固化的光刻胶从所述表面上移除；和对所述腔室部件进行电化学蚀刻，以在所述腔室部件上形成纹理化表面。