一种含化学吸附的反应精馏除氯硅烷中硼、磷杂质的方法和设备

摘要

本发明涉及一种含化学吸附的反应精馏除氯硅烷中硼、磷杂质的方法和设备；包括含化学吸附硼、磷杂质的反应精馏塔以及配套的塔顶冷凝器、塔釜再沸器、回流罐、回流泵和塔釜采出泵；反应精馏塔内分为精馏段、反应段和提馏段，精馏段和提馏段采用规整丝网波纹填料，反应段采用结构催化填料。氯硅烷进入含化学吸附硼、磷杂质的反应精馏塔，硼、磷杂质在塔内的反应段进行化学吸附反应，硼、磷杂质发生反应的被固载到反应段，经过化学吸附反应过程的氯硅烷由精馏段和反应段的分离提纯，在塔顶得到高纯氯硅烷产品；没有被固载到反应段的高沸点物质经提馏段的分离提纯富集，由塔釜排出。本发明工艺简单，设备投资少，提升了氯硅烷的品质。